[三季报]中微公司(688012):2026年第三季度报告

 时间：2026年10月30日 21:08:28 中财网

原标题:中微公司:2026年第三季度报告

证券代码：688012 证券简称：中微公司
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2026年第三季度报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重 大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。重要内容提示：
公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。

第三季度财务报表是否经审计
□是√否
? 公司2026年前三季度（1-9月）营业收入为103.26亿元，同比增长约28.08%。

? 2026年前三季度（1-9月）归属于上市公司股东的净利润为41.34亿元，较去年同期增长约241.31%。

? 根据市场需求，公司显著加大研发力度。2026年前三季度公司研发支出32.22亿元，较去年同期增长约27.70%，研发支出占公司营业收入比例约为31.20%，公司目前同时推进六大类、超20款新设备的研发。

? 公司已开发出54种高端半导体设备，包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备、24种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和部分量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工的精度已经达到了原子级水平。

截至2026年9月底，公司累计已有超过9300个反应台在国内外生产线实现量产。

一、主要财务数据
（一）主要会计数据和财务指标
单位：元币种：人民币

项目本报告期本报告期比 上年同期增 减变动幅度 (%)年初至报告期末年初至报告期 末比上年同期 增减变动幅度 (%)
营业收入3,634,861,207.1817.1810,326,148,534.8528.08
利润总额1,389,128,073.87172.674,267,744,221.16247.76
归属于上市公司股东的净 利润1,308,771,867.14159.024,133,966,492.05241.31
归属于上市公司股东的扣 除非经常性损益的净利润500,379,207.3343.771,622,969,542.5983.01
经营活动产生的现金流量 净额-790,035,326.69不适用-105,481,836.09不适用
基本每股收益（元/股）2.01148.156.34226.80
稀释每股收益（元/股）1.96145.006.29227.60
加权平均净资产收益率 （%）4.85增加2.47个 百分点16.41增加10.54个 百分点
研发投入合计1,180,452,630.9414.463,221,861,386.6227.70
研发投入占营业收入的比 例（%）32.48减少0.77个 百分点31.20减少0.09个百 分点
　本报告期末上年度末本报告期末比 上年度末增减 变动幅度(%)　
总资产40,384,610,434.3929,846,018,981.4335.31　
归属于上市公司股东的所 有者权益31,407,543,348.9522,694,616,797.1638.39　
注：“本报告期”指本季度初至本季度末3个月期间，下同。

公司2026年前三季度（1-9月）营业收入为103.26亿元，同比增长约28.08%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

2026年前三季度（1-9月）归属于上市公司股东的净利润为41.34亿元，较上年同期增长约29.23亿元，同比增长约241.31%，主要原因为：（1）2026年前三季度营业收入增长28.08%下，毛利较上年同期增长约10.21亿元；（2）2026年前三季度公司研发支出较上年同期增长6.99亿元（增长约27.70%），研发支出占公司营业收入比例约为31.20%，远高于科创板均值。公司目前同时推进六大类、超20款新设备的研发，新产品研发周期显著加快，只需两年或更短就可开发一款新产品；（3）公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于2026年前三季度产生公允价值变动收益和投资收益合计约19.40亿元，较上年同期的3.49亿元增加约15.91亿元。（4）公司本期出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生投资收益约9.53亿元。

2026年前三季度（1-9月）归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约16.23亿元，较上年同期增加7.36亿元（增长约83.01%），主要由于营业收入增长下毛利增加10.21亿元，以及研发费用较上年同期增加2.35亿元。

（二）非经常性损益项目和金额
√适用□不适用
单位：元币种：人民币

非经常性损益项目本期金额年初至报告期末 金额说明
非流动性资产处置损益，包括已计提 资产减值准备的冲销部分11,819,290.011,002,379,915.58　
计入当期损益的政府补助，但与公司 正常经营业务密切相关、符合国家政 策规定、按照确定的标准享有、对公 司损益产生持续影响的政府补助除外40,691,430.1448,866,575.19　
除同公司正常经营业务相关的有效套 期保值业务外，非金融企业持有金融 资产和金融负债产生的公允价值变动 损益以及处置金融资产和金融负债产 生的损益900,315,991.031,883,763,458.85　
计入当期损益的对非金融企业收取的 资金占用费　　　
委托他人投资或管理资产的损益　　　
对外委托贷款取得的损益　　　
因不可抗力因素，如遭受自然灾害而 产生的各项资产损失　　　
单独进行减值测试的应收款项减值准 备转回　　　
企业取得子公司、联营企业及合营企 业的投资成本小于取得投资时应享有 被投资单位可辨认净资产公允价值产 生的收益-15,805,710.78　
同一控制下企业合并产生的子公司期 初至合并日的当期净损益　　　
非货币性资产交换损益　　　
债务重组损益　　　
企业因相关经营活动不再持续而发生 的一次性费用，如安置职工的支出等　　　
因税收、会计等法律、法规的调整对 当期损益产生的一次性影响　　　
因取消、修改股权激励计划一次性确 认的股份支付费用　　　
对于现金结算的股份支付，在可行权 日之后，应付职工薪酬的公允价值变 动产生的损益　　　
采用公允价值模式进行后续计量的投 资性房地产公允价值变动产生的损益　　　
交易价格显失公允的交易产生的收益　　　
与公司正常经营业务无关的或有事项 产生的损益　　　
受托经营取得的托管费收入　　　
除上述各项之外的其他营业外收入和 支出-2,347,306.754,464,204.04　
其他符合非经常性损益定义的损益项 目　　　
减：所得税影响额-142,579,750.80-444,726,758.17　
少数股东权益影响额（税后）493,006.18443,843.19　
合计808,392,659.812,510,996,949.46　
对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用√不适用
（三）主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因
√适用□不适用

项目名称变动比例（%）主要原因
利润总额_本报告期172.67（1）2026年前三季度营业收入增长28.08%下，毛 利较上年同期增长约10.21亿元；（2）由于市场对 中微开发多种新设备的需求急剧增长，2026年公司 显著加大研发力度，以尽快补短板，实现赶超，为 持续增长打好基础。2026年前三季度公司研发支出 较上年同期增长6.99亿元（增长约27.70%），研发 支出占公司营业收入比例约为31.20%，远高于科创 板均值；（3）公司以公允价值计量且其变动计入当 期损益的对外股权投资于2026年前三季度产生公允 价值变动收益和投资收益合计约19.40亿元，较上年 同期的3.49亿元增加约15.91亿元。（4）公司本期 出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产 生投资收益约9.53亿元。
利润总额_年初至报告期 末247.76　
归属于上市公司股东的净 利润_本报告期159.02　
归属于上市公司股东的净 利润_年初至报告期末241.31　
归属于上市公司股东的扣 除非经常性损益的净利润 _本报告期43.772026年前三季度营业收入增长下毛利增加10.21亿 元，以及研发费用较上年同期增加2.35亿元。
归属于上市公司股东的扣 除非经常性损益的净利润 _年初至报告期末83.01　
基本每股收益（元/股）_ 本报告期148.152026年前三季度归属于上市公司股东的净利润大幅 度增加。
基本每股收益（元/股）_ 年初至报告期末226.80　
稀释每股收益（元/股）_ 本报告期145.00　
稀释每股收益（元/股）_ 年初至报告期末227.60　
总资产35.312026年前三季度对外投资以及存货增加，导致总资 产增加。
归属于上市公司股东的所 有者权益38.392026年前三季度总资产增加，资产负债率基本保持 稳定，导致归属于上市公司股东的所有者权益增 加。
二、股东信息
（一）普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表单位：股

报告期末普通股股东总数79193报告期末表决权恢复的 优先股股东总数（如 有）/　　　　
前10名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）　　　　　　　
股东名称股东 性质持股数量持股 比例 (%)持有有限 售条件股 份数量包含转融 通借出股 份的限售 股份数量质押、标记 或冻结情况　
　　　　　　股份 状态数 量
上海创业投资有限公司国有 法人129,960,89913.5700无0
香港中央结算有限公司其他113,446,92011.8400无0
巽鑫（上海）投资有限公 司国有 法人65,745,0196.8600无0
华芯投资管理有限责任公 司－国家集成电路产业投 资基金二期股份有限公司国有 法人28,314,0162.9600无0
招商银行股份有限公司－ 华夏上证科创板50成份交 易型开放式指数证券投资 基金其他23,013,7412.4000无0
广发证券股份有限公司－ 国泰中证半导体材料设备 主题交易型开放式指数证 券投资基金其他19,039,2891.9900无0
长江证券股份有限公司－ 华夏上证科创板半导体材 料设备主题交易型开放式 指数证券投资基金其他13,447,8731.4000无0
中信证券股份有限公司－ 嘉实上证科创板芯片交易 型开放式指数证券投资基 金其他12,448,1131.3000无0
中国工商银行股份有限公 司－易方达上证科创板50 成份交易型开放式指数证 券投资基金其他10,587,7881.1100无0
中国银行股份有限公司－ 易方达中证半导体材料设 备主题交易型开放式指数 证券投资基金其他9,451,9550.9900无0
前10名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）　　　　　　　
股东名称持有无限售条件流通股的数 量股份种类及数量　　　　　
　　股份种类数量　　　　
上海创业投资有限公司129,960,899人民币普通股129,960,899　　　　
香港中央结算有限公司113,446,920人民币普通股113,446,920　　　　
巽鑫（上海）投资有限公 司65,745,019人民币普通股65,745,019　　　　
华芯投资管理有限责任公 司－国家集成电路产业投 资基金二期股份有限公司28,314,016人民币普通股28,314,016　　　　
招商银行股份有限公司－ 华夏上证科创板50成份交 易型开放式指数证券投资 基金23,013,741人民币普通股23,013,741　　　　
广发证券股份有限公司－ 国泰中证半导体材料设备 主题交易型开放式指数证 券投资基金19,039,289人民币普通股19,039,289　　　　
长江证券股份有限公司－ 华夏上证科创板半导体材 料设备主题交易型开放式 指数证券投资基金13,447,873人民币普通股13,447,873　　　　
中信证券股份有限公司－ 嘉实上证科创板芯片交易 型开放式指数证券投资基 金12,448,113人民币普通股12,448,113　　　　
中国工商银行股份有限公 司－易方达上证科创板50 成份交易型开放式指数证 券投资基金10,587,788人民币普通股10,587,788　　　　

中国银行股份有限公司－ 易方达中证半导体材料设 备主题交易型开放式指数 证券投资基金9,451,955人民币普通股9,451,955
上述股东关联关系或一致 行动的说明巽鑫（上海）投资有限公司与华芯投资管理有限责任公司－国家集成 电路产业投资基金二期股份有限公司存在关联关系。除此之外，未知 上述其他股东是否存在关联关系或一致行动关系。　　
前10名股东及前10名无 限售股东参与融资融券及 转融通业务情况说明（如 有）/　　
持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况□适用√不适用
前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化□适用√不适用
三、其他提醒事项
需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息
□适用√不适用
四、季度财务报表
（一）审计意见类型
□适用√不适用
（二）财务报表
合并资产负债表
2026年9月30日
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元币种：人民币审计类型：未经审计

项目2026年9月30日2025年12月31日
流动资产：　　
货币资金8,355,255,444.717,951,400,258.31
结算备付金　　
拆出资金　　
交易性金融资产170,517,657.53791,755,164.40
衍生金融资产　　
应收票据246,493,376.1660,486,128.55
应收账款3,695,532,478.781,986,842,828.78
应收款项融资　　
预付款项184,343,044.2559,653,611.83
应收保费　　
应收分保账款　　
应收分保合同准备金　　
其他应收款87,483,009.5089,771,972.40
其中：应收利息　　
应收股利　　
买入返售金融资产　　
存货9,084,388,228.717,169,972,235.39
合同资产21,519,051.5415,616,848.62
持有待售资产　　
一年内到期的非流动资产　　
其他流动资产929,828,698.86808,501,134.32
流动资产合计22,775,360,990.0418,934,000,182.60
非流动资产：　　
发放贷款和垫款　　
债权投资　　
其他债权投资　　
长期应收款11,140,515.0412,242,089.36
长期股权投资2,801,651,340.941,444,770,418.51
其他权益工具投资　　
其他非流动金融资产4,839,961,430.312,171,888,747.71
投资性房地产5,069,828.435,379,948.51
固定资产2,808,840,930.032,829,204,536.58
在建工程1,413,248,906.14862,874,481.39
生产性生物资产　　
油气资产　　
使用权资产25,745,085.469,767,218.68
无形资产1,622,437,567.031,285,841,936.37
开发支出2,345,147,966.901,535,060,685.12
商誉1,059,648,803.53-
长期待摊费用4,323,387.604,229,585.88
递延所得税资产406,206,947.34334,948,560.57
其他非流动资产265,826,735.60415,810,590.15
非流动资产合计17,609,249,444.3510,912,018,798.83
资产总计40,384,610,434.3929,846,018,981.43
流动负债：　　
短期借款139,000,000.00-
向中央银行借款　　
拆入资金　　
交易性金融负债　　
衍生金融负债　　
应付票据　　
应付账款3,599,857,476.681,856,267,553.12
预收款项　　
合同负债2,263,981,333.723,043,841,852.78
卖出回购金融资产款　　
吸收存款及同业存放　　
代理买卖证券款　　
代理承销证券款　　
应付职工薪酬364,455,453.67453,359,894.63
应交税费90,303,403.63102,022,623.49
其他应付款497,943,417.56527,155,746.28
其中：应付利息　　
应付股利　　
应付手续费及佣金　　
应付分保账款　　
持有待售负债　　
一年内到期的非流动负债273,908,884.2319,116,635.86
其他流动负债197,873,642.63200,212,588.33
流动负债合计7,427,323,612.126,201,976,894.49
非流动负债：　　
保险合同准备金　　
长期借款976,750,000.00730,400,000.00
应付债券　　
其中：优先股　　
永续债　　
租赁负债12,064,987.134,868,935.49
长期应付款　　
长期应付职工薪酬　　
预计负债13,573,140.328,607,982.57
递延收益236,527,244.37169,570,623.11
递延所得税负债79,973,099.75105,650.68
其他非流动负债6,534,501.921,648,385.00
非流动负债合计1,325,422,973.49915,201,576.85
负债合计8,752,746,585.617,117,178,471.34
所有者权益（或股东权益）：　　
实收资本（或股本）957,842,348.00626,145,307.00
其他权益工具　　
其中：优先股　　
永续债　　
资本公积19,290,502,251.4115,042,347,134.89
减：库存股--215,940,213.47
其他综合收益10,457,819.997,195,805.39
专项储备　　
盈余公积463,337,665.25313,072,653.50
一般风险准备　　
未分配利润10,685,403,264.306,921,796,109.85
归属于母公司所有者权益（或股东权益） 合计31,407,543,348.9522,694,616,797.16
少数股东权益224,320,499.8334,223,712.93
所有者权益（或股东权益）合计31,631,863,848.7822,728,840,510.09
负债和所有者权益（或股东权益）总计40,384,610,434.3929,846,018,981.43
公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文合并利润表
2026年1—9月
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元币种：人民币审计类型：未经审计

项目2026年前三季度 （1-9月）2025年前三季度 （1-9月）
一、营业总收入10,326,148,534.858,062,565,115.42
其中：营业收入10,326,148,534.858,062,565,115.42
利息收入　　
已赚保费　　
手续费及佣金收入　　
二、营业总成本9,112,524,930.147,340,762,993.90
其中：营业成本6,152,891,163.034,910,025,964.06
利息支出　　
手续费及佣金支出　　
退保金　　
赔付支出净额　　
提取保险责任准备金净额　　
保单红利支出　　
分保费用　　
税金及附加58,452,148.9152,580,289.42
销售费用404,437,246.13320,722,707.74
管理费用428,042,197.44308,335,539.25
研发费用2,028,970,437.111,794,094,679.65
财务费用39,731,737.52-44,996,186.21
其中：利息费用14,471,394.9914,357,599.59
利息收入59,522,388.5982,845,487.89
加：其他收益106,193,396.10167,289,127.42
投资收益（损失以“-”号填 列）1,131,111,551.5868,539,990.18
其中：对联营企业和合营企 业的投资收益107,377,617.5326,393,152.69
以摊余成本计量的金融 资产终止确认收益　　
汇兑收益（损失以“-”号填 列）　　
净敞口套期收益（损失以 “-”号填列）　　
公允价值变动收益（损失以 “-”号填列）1,883,993,425.33317,297,825.62
信用减值损失（损失以“-” 号填列）-62,399,300.00-28,719,835.59
资产减值损失（损失以“-” 号填列）-9,268,316.04-25,078,480.87
资产处置收益（损失以“-” 号填列）25,654.633,432,574.14
三、营业利润（亏损以“-”号填列）4,263,280,016.311,224,563,322.42
加：营业外收入12,576,428.706,129,787.91
减：营业外支出8,112,223.853,468,727.11
四、利润总额（亏损总额以“-”号填 列）4,267,744,221.161,227,224,383.22
减：所得税费用190,010,461.5546,460,259.39
五、净利润（净亏损以“-”号填列）4,077,733,759.611,180,764,123.83
（一）按经营持续性分类　　
1.持续经营净利润（净亏损以“-” 号填列）4,077,733,759.611,180,764,123.83
2.终止经营净利润（净亏损以“-” 号填列）　　
（二）按所有权归属分类　　
1.归属于母公司股东的净利润 （净亏损以“-”号填列）4,133,966,492.051,211,192,400.82
2.少数股东损益（净亏损以“-”号 填列）-56,232,732.44-30,428,276.99
六、其他综合收益的税后净额7,813,727.847,287,752.14
（一）归属母公司所有者的其他综合 收益的税后净额7,813,727.847,287,752.14
1.不能重分类进损益的其他综合收 益　　
（1）重新计量设定受益计划变动 额　　
（2）权益法下不能转损益的其他 综合收益　　
（3）其他权益工具投资公允价值 变动　　
（4）企业自身信用风险公允价值 变动　　
（5）其他　　
2.将重分类进损益的其他综合收益7,813,727.847,287,752.14
（1）权益法下可转损益的其他综 合收益2,401,421.64-3,853,519.12
（2）其他债权投资公允价值变动　　
（3）金融资产重分类计入其他综 合收益的金额　　
（4）其他债权投资信用减值准备　　
（5）现金流量套期储备　　
（6）外币财务报表折算差额5,412,306.2011,141,271.26
（7）其他　　
（二）归属于少数股东的其他综合收 益的税后净额　　
七、综合收益总额4,085,547,487.441,188,051,875.97
（一）归属于母公司所有者的综合收 益总额4,141,780,219.891,218,480,152.96
（二）归属于少数股东的综合收益总 额-56,232,732.44-30,428,276.99
八、每股收益：　　
（一）基本每股收益（元/股）6.341.94
（二）稀释每股收益（元/股）6.291.92
本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元,上期被合并方实现的净利润为：0元。

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文合并现金流量表
2026年1—9月
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元币种：人民币审计类型：未经审计

项目2026年前三季度 （1-9月）2025年前三季度 （1-9月）
一、经营活动产生的现金流量：　　
销售商品、提供劳务收到的现金8,514,443,743.1610,580,960,004.38
客户存款和同业存放款项净增加额　　
向中央银行借款净增加额　　
向其他金融机构拆入资金净增加额　　
收到原保险合同保费取得的现金　　
收到再保业务现金净额　　
保户储金及投资款净增加额　　
收取利息、手续费及佣金的现金　　
拆入资金净增加额　　
回购业务资金净增加额　　
代理买卖证券收到的现金净额　　
收到的税费返还297,806,889.24-
收到其他与经营活动有关的现金722,092,631.40329,206,017.19
经营活动现金流入小计9,534,343,263.8010,910,166,021.57
购买商品、接受劳务支付的现金7,727,269,267.517,578,219,632.74
客户贷款及垫款净增加额　　
存放中央银行和同业款项净增加额　　
支付原保险合同赔付款项的现金　　
拆出资金净增加额　　
支付利息、手续费及佣金的现金　　
支付保单红利的现金　　
支付给职工及为职工支付的现金1,598,789,818.141,352,622,501.60
支付的各项税费226,463,871.47540,229,751.19
支付其他与经营活动有关的现金87,302,142.77140,784,896.73
经营活动现金流出小计9,639,825,099.899,611,856,782.26
经营活动产生的现金流量净额-105,481,836.091,298,309,239.31
二、投资活动产生的现金流量：　　
收回投资收到的现金6,397,545,079.595,754,264,512.16
取得投资收益收到的现金1,274,813,044.3066,395,476.25
处置固定资产、无形资产和其他长期资 产收回的现金净额27,352,564.70　
处置子公司及其他营业单位收到的现金 净额　　
收到其他与投资活动有关的现金　　
投资活动现金流入小计7,699,710,688.595,820,659,988.41
购建固定资产、无形资产和其他长期资 产支付的现金957,988,809.89502,096,588.31
投资支付的现金7,350,093,076.475,888,507,258.84
购建开发支出所支付的现金993,415,411.89619,562,358.61
质押贷款净增加额　　
取得子公司及其他营业单位支付的现金 净额-16,755,739.33-
支付其他与投资活动有关的现金　　
投资活动现金流出小计9,284,741,558.927,010,166,205.76
投资活动产生的现金流量净额-1,585,030,870.33-1,189,506,217.35
三、筹资活动产生的现金流量：　　
吸收投资收到的现金2,413,125,940.51236,695,696.59
其中：子公司吸收少数股东投资收到 的现金　　
取得借款收到的现金570,000,000.00-
收到其他与筹资活动有关的现金　　
筹资活动现金流入小计2,983,125,940.51236,695,696.59
偿还债务支付的现金94,700,000.004,600,000.00
分配股利、利润或偿付利息支付的现金230,311,785.07199,341,053.93
其中：子公司支付给少数股东的股 利、利润　　
支付其他与筹资活动有关的现金4,159,443.493,750,295.76
筹资活动现金流出小计329,171,228.56207,691,349.69
筹资活动产生的现金流量净额2,653,954,711.9529,004,346.90
四、汇率变动对现金及现金等价物的影响-50,972,128.11-11,970,007.30
五、现金及现金等价物净增加额912,469,877.42125,837,361.56
加：期初现金及现金等价物余额5,996,900,464.055,655,372,752.40
六、期末现金及现金等价物余额6,909,370,341.475,781,210,113.96
公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文（三）2026年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表□适用√不适用（未完）
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