中科仪干泵加速国产替代 晶圆扩产打开成长空间

时间：2026年09月22日 14:53:52 中财网

　　CFi.CN讯：数据显示，中科仪2026年上半年干式真空泵收入4.24亿元，占总营收68%，毛利率25.11%；公司整体营收6.23亿元(同比+8.52%)，扣非归母净利润6106万元(同比-3.41%)。晶圆需求持续扩容，全球300mm等效晶圆出货量预计从2024年1.14亿片升至2030年1.69亿片，CAGR约7%，HBM与先进制程带动真空工序数量与技术门槛双升。

　　
　　近期机构研报指出，Edwards长期占据全球半导体真空泵约80%份额，中科仪以罗茨干泵L/M/H系列覆盖清洁至苛刻工艺，已适配30余家主流设备厂商机台，国产替代进程明显提速。研报认为，随着晶圆厂扩产节奏加快及设备验证周期缩短，中科仪作为北交所稀缺的半导体干泵标的，订单可见度提升，营收结构持续向高毛利核心产品集中。

　　
　　研报指出，真空泵属半导体前道刚需部件，15项主要工艺中11项需真空环境，先进制程与EUV进一步强化其不可替代性。在国产化政策支持与设备厂商降本诉求双重驱动下，中科仪有望凭借技术适配能力与本土服务优势，加速切入更多产线验证，打开份额提升通道。