芯碁微装(688630):国泰海通证券股份有限公司关于公司2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

 时间：2026年03月13日 17:25:51 中财网
原标题:芯碁微装:国泰海通证券股份有限公司关于公司2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

国泰海通证券股份有限公司
关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见
国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1号——规范运作》等相关规定，对芯碁微装 2025年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到位时间
经中国证券监督管理委员会证监许可〔2023〕563号文《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》，公司向特定对象发行人民币普通股（A股）10,497,245股，每股面值人民币 1元，募集资金总额为797,685,647.55 元，扣除各项发行费用 8,322,726.38 元，实际募集资金净额为789,362,921.17元。上述募集资金到位情况经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并出具了容诚验字[2023]230Z0198号验资报告。

（二）募集资金以前年度使用金额
截至 2024年 12月 31日，公司累计已使用募集资金人民币 37,821.40万元，利息收入 983.58万元，手续费用 6.02万元，剩余募集资金余额人民币 42,092.46万元。

（三）募集资金本年度使用金额及年末余额
2025年，公司已使用募集资金 16,123.08万元。截至 2025年 12月 31日，公司累计已使用募集资金投入项目 53,944.48 万元，剩余募集资金余额人民币26,773.45万元。截至 2025年 12月 31日，募集资金使用情况如下： 1
单位：人民币万元

项目金额　　
募集资金净额78,936.29　　
经批准置换先期投入金额-　　
以前年度投入金额37,821.40　　
本年度投入金额16,123.08　　
累计使用募集资金金额53,944.48　　
尚未使用金额24,991.81　　
减：闲置募集资金临时补充流动资金-　　
减：购买理财产品未到期的22,000.00　　
累计利息收入、理财收益及手续费净额1,781.64　　
减：其他转出-　　
截至 2025年 12月 31日募集资金专户余额4,773.45　　
二、募集资金管理情况 （一）募集资金的管理情 根据有关法律法规及《上 ——规范运作》的规定，遵循 集资金管理制度》，对募集资 规定，以在制度上保证募集资 根据管理制度并结合经营 资金实行专户存储，在银行设 订了《募集资金三方监管协议 的使用实施严格审批，以保证 按照该《募集资金监管协议》 （二）募集资金专户存储 截至 2025年 12月 31日况 证券交易所科创板上 范、安全、高效、透 的存储、审批、使用 金的规范使用。 需要，公司对 2022年 募集资金使用专户， 》（以下统称《募集资 专款专用。截至 2025 的规定，存放和使用募 情况 募集资金具体存放情公司自律 的原则， 管理与监 向特定对 与开户银 监管协议 12月 31 资金。 如下：管指引第 1号 司制定了《募 做出了明确的 发行股票募集 、保荐机构签 ），对募集资金 ，公司均严格 单位：人民币元
开户银行银行账号账户类别募集资金余额
2

招商银行合肥分行营业部551906776410802活期存款5,944,397.06
徽商银行股份有限公司安徽自贸 试验区合肥片区支行522001541721000002活期存款4,470,304.93
中信银行股份有限公司合肥分行 营业部8112301012100947766活期存款20,602,224.34
中国光大银行合肥长江西路支行76670180803908811活期存款16,717,546.00
合计47,734,472.33　　
三、本年度募集资金实际使用情况
（一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况 募集资金实际使用情况详见附表 1《2025年度募集资金使用情况对照表》。

（二）用募集资金置换已投入募投项目的自筹资金情况
本年度，公司不存在用募集资金置换已投入募投项目的自筹资金的情况。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
本年度，公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金情况。

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
2025年 4月 23日公司召开了第二届董事会第十九次会议和第二届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币 40,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过 30,000 万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东大会审议通过之日起 12个月。

截至 2025年 12月 31日，公司使用募集资金投资相关产品的情况详见下表： 单位：人民币元

序号受托方产品类型批准投资金额实际投 入金额投资期限期末余额利息金额
3

1光大银行大额存单70,000,000.0070,000,000.002024.3.29- 2027.3.29-273,000.00
2徽商银行大额存单50,000,000.0050,000,000.002023.8.28- 2026.8.2830,000,000.00-
3徽商银行大额存单100,000,000.00100,000,000.002023.8.29- 2026.8.2920,000,000.002,639,866.66
4民生银行大额存单40,000,000.0040,000,000.002024.5.20- 2027.5.2010,000,000.00477,888.89
5南洋银行大额存单250,000,000.00250,000,000.002023.8.29- 2026.8.29110,000,000.00-
6兴业银行大额存单150,000,000.00150,000,000.002023.8.29- 2026.8.2950,000,000.003,810,027.40
7申万证券保本理财20,000,000.0020,000,000.002024.10.17- 2025.10.14-190,191.78
8申万证券保本理财20,000,000.0020,000,000.002025.1.16- 2026.1.13-63,287.67
9申万证券保本理财20,000,000.0020,000,000.002025.2.20- 2026.2.9-62,495.38
10申万证券保本理财20,000,000.0020,000,000.002025.3.27- 2026.3.24-92,712.33
11申万证券保本理财20,000,000.0020,000,000.002025.5.15- 2026.5.12-59,671.23
12申万证券保本理财20,000,000.0020,000,000.002025.6.19- 2026.6.15-158,493.15
13申万证券保本理财10,000,000.0010,000,000.002025.1.2- 2025.12.23-40,945.21
14申万证券保本理财10,000,000.0010,000,000.002025.9.24- 2026.3.23-18,794.52
15申万证券保本理财10,000,000.0010,000,000.002025.10.24- 2026.4.23-9,726.03
合计810,000,000.00810,000,000.00　220,000,000.007,897,100.25　　
（五）超募资金使用情况
公司不存在超募资金使用的情况。

（六）节余募集资金使用情况
公司不存在节余募集资金使用的情况。

4
（七）募集资金使用的其他情况
公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
报告期内，公司不存在变更募集资金投资项目的情况，不存在募集资金投资项目己对外转让或置换的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题及整改措施
2025年度，公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并及时、真实、准确、完整地披露了募集资金的相关信息，不存在募集资金管理违规情形。

六、保荐机构的核查意见
经核查，保荐机构认为，公司 2025年度募集资金存放和使用情况符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1号——规范运作》《合肥芯碁微电子装备股份有限公司募集资金管理制度》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，发行人募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。

综上，保荐机构对公司 2025年度募集资金存放和使用情况无异议。

（以下无正文）
5
6
附表 1：2025年度募集资金使用情况对照表
编制单位：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
单位：万元

募集资金总额78,936.29本年度投入募集资金总额16,123.08　　　　　　　　　
变更用途的募集资金总额不适用已累计投入募集资金总额53,944.48　　　　　　　　　
变更用途的募集资金总额比例不适用　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　
承诺投资 项目是否已变 更项目 （含部分 变更）募集资金 承诺投资 总额调整后投 资总额截至期末承 诺投入金额 （1）本年度投入 金额截至期末累 计投入金额 （2）截至期末累计 投入金额与承 诺投入金额的 差额 （3）=（2）- （1）截至期末投 入进度 （%）（4） =（2）/（1）项目达到预 定可使用状 态日期本年度实现的效益是否达 到预计 效益项目可行 性是否发 生重大变 化
直写光刻 设备产业 应用深化 拓展项目无26,598.0025,765.7325,765.731,929.5813,534.48-12,231.2452.53%2026年 7月直写光刻设备在新型 显示、PCB阻焊层、 引线框架等领域不断 深化应用，在 NEX系 列产品年产量百余 台，NEX30等多款机 型正处于转量产阶 段。新型显示和引线 框架方面，产品已在不适用否
7

　　　　　　　　　　客户端完成多台验 收。　　
IC载板、 类载板直 写光刻设 备产业化 项目无17,583.7517,583.7517,583.755,108.5112,577.33-5,006.4271.53%2026年 7月持续对 IC载板、类载 板直写光刻设备进行 研发投入，MAS系列 机型已实现 4μm、6 μm、8μm解析，多 款设备正在向量产阶 段过渡。不适用否
关键子系 统、核心 零部件自 主研发项 目无15,172.0015,172.0015,172.0078.978,383.87-6,788.1355.26%2026年 7月各子系统、核心零部 件自主研发项目均正 常推进，基于深度学 习算法的智能化直写 光刻系统开发在客户 端运行良好；超大幅 面高解析度曝光引擎 研发项目已基本完 成，实现超大幅面下 高解析高速曝光；高 精度动态环控系统研 发完成，完成多机型 上机测试，实现目标 设备集成与稳定运 行；先进激光光源研不适用否
8

　　　　　　　　　　发项目成果已应用多 款机型，提升了紫外 激光器国产化率，逐 步实现自主可控。　　
补充流动 资金项目无20,414.8120,414.8120,414.819,006.0219,448.80-966.0295.27%2026年 7月不适用不适用否
合计　79,768.5678,936.2978,936.2916,123.0853,944.48-24,991.81　　　　　
未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用　　　　　　　　　　　
项目可行性发生重大变化的情况说明不适用　　　　　　　　　　　
募集资金投资项目先期投入及置换情况不适用　　　　　　　　　　　
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况不适用　　　　　　　　　　　
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况截至 2025年 12月 31日，公司进行现金管理的募集资金余额为 22,000.00万元。详见本核查意见“三、本年 度募集资金实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”。　　　　　　　　　　　
募集资金结余的金额及形成原因不适用　　　　　　　　　　　
募集资金其他使用情况不适用　　　　　　　　　　　

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